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C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current 本スタンダードは，Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日，globalNOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. The purpose of this Document is to standardize requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to give statistically valid results. Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals